Diseño y fabricación de un aparato para el depósito de películas delgadas por el método de rotación
DOI:
https://doi.org/10.33064/iycuaa2009455007Palabras clave:
Depósito, películas delgadas, contrucción, método de rotación, semiconductoresResumen
La técnica de rotación se emplea ampliamente para el depósito de películas delgadas de diversos materiales. Se diseñó y construyó un aparato doméstico para el depósito de películas delgadas basado en el método de rotación. El equipo es compacto y ofrece un control digital, amplio rango de velocidades (desde 1 hasta 7500 rpm), estabilidad, etc. Para la primera fase del depósito, el aparato está programado para acelerar uniformemente de cero a 400 rpm en 30 segundos y permanecer en esta velocidad durante un minuto. En la segunda fase, el usuario puede elegir las condiciones de operación; es decir, velocidad y el tiempo.
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